第三百九十九章 收购之路（2/2）
“有。”陈学兵点头道：“相关论文还没有面世，不过我这里有2006年12月IEDM（国际电子器件会议）的影像资料，台积电介绍了半个多时，我可以发给你，以后你想要什么半导体资料找我就行了，有专人给我搜集。”
“那太好了！”辛梦真有些迫不及待，“是怎么曝光的？居然能绕过单次曝光的分辨率限制？”
双重曝光若变为四重曝光，那就是打开新制程大门的钥匙！
“这个.有个公式，我给忘了，大概就是分辨率不够的情况下光的衍射效应会导致图案变得模糊不清，但通过芯片图案拆分，用两次曝光来完成光刻，降低每次曝光图案的密度的话，就能避免感光的相互干扰、重迭，然后通过纳米级精度的对准，确保两次曝光的图案能完美拼合，达到图案密度加倍的效果不过对设备精度要求很高。”
“哦”辛梦真想通了一些关键，神色沉了沉：“那如果要照这个方式进行四次曝光，光套刻误差就要翻两倍了。”
她家里是做代工的，精密设备了解得不少，自然知道自动化仪器精密度要提升两倍，起码要好几年的时间，甚至十来年。
陈学兵亦轻笑：“当然，这方法良率太低了，如果没有工业精度突破，往下曝光的成本核爆式增长，要完成四次曝光，应该需要更精密的方式吧，这玩意也不是什么超越制程限制的魔法，顶多只是材料技术和精密技术的另一种表现。”
用多重曝光的方式往下追制程，同样需要时代的整体进步，光刻胶多次曝光后胶体龟裂，掩膜版精度够不够细，DUV精度能不能对齐，FFET工艺能否整合，有没有对应制程的EDA软件来拆分芯片设计图，哪一步都是大坎。
不过有这个路径，总比EUV制造简单多了，如果能持续搞到最新版套刻精度的DUV，便可以跟着先进世代屁股后面玩到7纳米，甚至是5纳米。
他不断查阅技术资料，找人给他解释，对光刻机原理逐渐明了，前世的一些散碎认知更加清晰了。
只是多重曝光这个升级方向还要晶圆厂来完成，能暗中搞到先进DUV的中芯国际最近好像也焦头烂额，03年刚上市就被台积电告了一遭，05年顶不住了，庭外和解赔了1.75亿美元，结果去年又被告了，索赔更高，还要股份。
这次还要求张汝京下课。
张汝京是个好人。
甚至是个伟大的人，脱离了低级趣味的人，为中国半导体奠基的人。
但陈学兵也只能在心里为他唱缅了，他是希望张汝京早点在官司中败退出来的，台积电不彻底和解，总是惦记着他，中芯国际的多重曝光之路就很难走。
毕竟双重曝光是台积电的专利。
IEDM的录像他看得明明白白，台积电把原理讲得很细，双重曝光技术需要光刻机、光刻胶、EDA工具、量测设备等整个供应链的配合，他们在积极推动双重曝光产业链的发展，完成技术成熟度。
既然敢让大家Know-How，就肯定围绕该技术的核心创新点申请了大量、严密、根本绕不过去的专利。
前世台积电和中芯国际的重大和解09年才达成，张汝京辞职，之后台积电才给了中芯国际一系列有限制的付费专利许可，要是没有这一步，中芯国际想玩这个连法律保障都没有。
他得抽空找张汝京谈一谈，张汝京若实在不愿意退，他好像就只能另起炉灶了。
…这就更难了。
中芯国际一直在建厂，发展到现在有四座晶圆厂，能来大陆的相关人才基本都挖完了，他想建一座起来，起码要两年。
这不还是得等09年了？
还是请他退吧。
陈学兵思绪之中，辛梦真忽然起身下床，垫着脚尖从工作手提包里拿出一张纸回来。
“既然你有人搜集资料，那…这个，你帮我查查。”
陈学兵接过。
是几行手写的字。
目标——获得精密制造、基础光学和运动控制能力
台湾精密机械厂
标的类型——为日德企业代工高精度直线电机、气浮轴承、精密导轨的台湾中厂商（上银科技的竞争对手）
陈学兵看出了她的目的：“你想先做工件台？为什么要台湾的企业？”
“不止是工件台，高精度直线电机涉及半导体的运动控制、集成化模组设计，气浮轴承涉及光学检测和精密加工，精密导轨是做机床和机械臂，这样的厂子可以完成从导轨、丝杆到模组的全套传动系统。
“我家的代工厂有机械加工技术，只是精度不足，我手里的人，最有把握全面技术接管的就是这个。
“台湾应该有几家这样的企业在给阿斯麦和尼康代工，我从他们的财报里都看到了支付给台湾地区的费用，笼统显示是用于精密制造，所以不知道具体有几家，但是两方不可能只用了一家企业，你顺着这个线索找，应该能找到。”
辛梦真缜密的思维让陈学兵露出笑容。
“为什么是「上银科技的竞争对手」？”
“因为上银科技规模太大了啊，台湾最大的一家，他们肯定是供应商之一，但不好收购，我们得找他们的同行，太次了也不行，必须和他们有竞争能力的。”
“哦。”
上银科技并不出名，想来市值不会太夸张，但陈学兵没有财大气粗地问一句“有多大”，因为最大的一家最显眼，肯定不方便下手，要从台湾转移技术和人才，还是低调点好。
“行，我帮你找……其实，我也规划了一家企业收购。”
“哪家？”
“德国蔡司。”
陈学兵轻飘飘出口，辛梦真睫毛都晃了晃。
蔡司，全球光学光电子标杆。
医疗、工业、半导体、相机镜头、眼镜镜片。
百亿美元级的企业。
“你疯了，能收购蔡司，还不如直接收购阿斯麦呢。”
陈学兵干笑起来：“先盯着吧，我没全部收购，有一些业务和海外分公司是可以分拆的，万一人家缺钱呢？不过受你启发，我们多盯几家。”